| 項目 | 技術(shù)要求 |
| 靈敏度（分辨率*） | 0.1µm-5µm范圍內(nèi)粒徑分辨率≦10% |
| 測量不確定度 | 在粒徑設定檔，濃度誤差±20% |
| 校準周期 | 不超過12個月，或規(guī)定的性能驗證時 |
| 計數(shù)效率 | *小粒徑閥值時（50±20%），大于或等于*小粒徑閥值的1.5倍時（100±10%） |
| 低濃度范圍 | 與實際預期的*低計數(shù)相比，偽計數(shù)不顯著。自凈階段計數(shù)在一段時間內(nèi)等于零（例如，5min內(nèi)無計數(shù)） |
| 高濃度范圍 | 在使用點，大于設施潔凈度上限濃度2倍，且不超過制造商建議*大濃度的75% |
*注：粒徑分辨率大于10%的儀器，給出的粒子計數(shù)結(jié)果可能有高達1個數(shù)量等級的波動。
